品箜號

1600°C真空高溫管式爐GSL-1600X-S

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25G15C 濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需裳

2、 電：AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、 '：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自筐氣源（標(biāo)準(zhǔn)帀有寶塔接頭，可自菱改制成為雙卡套接頭）

4、 工作臺：尺寸1200mmx600mmx700mm,承重300kg以上

5、 通風(fēng)裝置:_需要

主要特點(diǎn)

1、 雙層殼體，爐膛釆用高純氧化鋁纖維，設(shè)有兩個(gè)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度＜60°Co

2、 內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時(shí)延長使用壽命。

3、 PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、 已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、 電源：AC 220V 50Hz 60Hz 3KW （需要30A的空氣開關(guān)）

2、 氧化鋁管：外徑060mm，內(nèi)徑054mm，長790mm

3、 加熱元件：1750*C級硅鋁棒

4、 加熱區(qū)域：300mm

5、 工作溫度：連^800-1600°C

6、 升降溫速率:10°C min

7、 控溫精度:±rc

8、 真空壓力：可達(dá)50mtorr

—品規(guī)格

尺寸：445mm X3SOmmX 615mm；重里：100kg

標(biāo)準(zhǔn)反件

1 氧化鋁管 1根

2 氧化鋁管堵 4個(gè)

3 不銹鋼法蘭 1套

可迭酉!件

1、 移動(dòng)爐架

2、 波紋管

3、 數(shù)字真空計(jì)

4、 KF25轉(zhuǎn)接頭

5、 不銹鋼卡套接頭